2026.09.24
技术资料

采购 PECVD 石墨舟前,先确认哪些信息?

从设备接口、硅片定位、材料要求与检验范围出发,明确整舟采购需求。

把石墨舟作为完整装配评审

结合设备机械接口确认硅片规格与装载布局。舟片间距、接触部件和连接件应对应同一个确认装配版本。

明确材料要求

提供石墨牌号或所需性能,包括纯度、孔隙率等要求及验收需要的资料。材料要求与工艺有关,应在报价前评审。

约定检验范围

明确关键尺寸、定位结构、装配检查与报告要求。替换项目应附旧件参考及技术版本。

使用中英双语项目清单

下载中英双语询价与收货核对清单,填写设备、硅片规格、装载、牌号、数量、检验及交付要求。

行业参考

以上链接提供通用行业背景,不作为源融产品具体牌号、尺寸或装载容量的依据。

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