PECVD 光伏镀膜石墨舟

面向光伏镀膜的石墨装配件

石墨舟用于光伏镀膜设备中的硅片承载与定位，包括管式 PECVD 应用。舟片布局、硅片定位和装配界面需要作为完整系统一起评审。

从整舟结构开始确认

同步确认硅片规格、装载容量、舟片间距、接触位置、连接部件与设备接口。替换舟应提供确认技术版本及现有装配信息。

材料与项目要求

根据工艺约定石墨牌号、纯度要求、孔隙率、尺寸公差与检验资料。不同设备配置需要各自确认整舟结构与材料要求。

行业参考：SGL Carbon 光伏石墨应用。该资料提供通用技术背景，不作为本公司产品认证。