明确应用要求
将硅片规格、装载布局、整舟结构、石墨牌号与设备接口作为完整项目评审。新品与替换部件均对应确认的装配图纸。
建议提供的信息
- 设备接口与工艺条件。
- 受控图纸或样件参考。
- 材料牌号、数量与检验要求。
行业应用
光伏镀膜 / PECVD
服务硅片承载、定位与光伏镀膜的石墨舟及精密配套部件。
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